洁净室维持内部环境洁净度主要依赖于以下几个关键方面：

1. 空气净化系统：这是洁净室维持洁净度的核心。通过高效过滤器（如HEPA过滤器）去除空气中的尘埃、微生物等污染物，保证送入洁净室的空气洁净度达标。空气净化系统需要定期维护和清洗，确保长期稳定运行。

2. 正压控制：洁净室内部保持一定的正压，以防止外部污染空气通过门窗缝隙等进入洁净室。这通常通过送风系统实现，确保洁净室内的空气压力略高于外部环境。

3. 气流组织：通过合理的气流组织和送排风布局，使洁净室内的空气形成层流或乱流，有效排除污染物。气流组织的设计应考虑到洁净室的尺寸、形状、用途等因素。

4. 材料和设备选择：使用不易产生尘埃、耐腐蚀、易清洁的材料构建洁净室，减少室内污染源。同时，选择低发尘的设备和工艺，进一步降低污染物的产生。

5. 人员和物品管理：对进出洁净室的人员和物品进行严格管理，防止带入污染物。人员进入洁净室前需进行清洁和更衣，物品进入前需进行清洁和消毒。

6. 定期监测和维护：定期对洁净室的洁净度、温湿度、压差等指标进行监测，确保环境稳定。同时，定期对空气净化系统、送排风系统等进行维护和清洗，保证设备的正常运行。

7. 微生物控制：定期进行微生物检测，针对检测结果确定维护程序。如有必要，可采取紫外线消毒等措施杀灭微生物。

通过这些措施的综合应用，洁净室可以有效地维持内部环境的洁净度，为各种高精度、高质量的生产活动提供必要的保障。